超声喷雾热解法制备AZO薄膜及其光致发光性能研究

更新时间:2015-10-30

《辽宁师范大学学报（自然科学版）》2015年1期

【摘要】利用超声喷雾热解法以乙酸锌、硝酸铝为Zn、Al源配制前驱体溶液，按不同的Zn、Al原子比（1:0.02，1：0.03，1：0.04，1：0.05和1:0.06）在单晶硅(100)衬底上制备出具有较好光致发光性能的ZnO:Al(AZO)薄膜，采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)表征了样品的晶体结构、表面形貌和光致发光性能，结果表明：所制备样品属于纤锌矿Zn0结构，且择(002)取向生长，薄膜表面比较平整，具有较好的光致发光性能，并且Al掺杂量对AZO薄膜的紫外发射性能有重要影晌，随着Al掺杂量的增加，紫外发射峰先蓝移后红移，在Zn、Al原子比为1：0.04时得到的AZO薄膜结晶质量最好，蓝移量最大，光致发光性能最佳，

【关键词】 AZO薄膜超声喷雾热解光致发光谱表面形貌薄膜结构

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