【摘要】利用干热氧化方法，对蓝宝石衬底上沉积的GaN薄膜进行热氧化处理制备出了Ga2 03薄膜，研究了氧化温度对Ga2 03薄膜的结构、形貌、氧化层厚度和化学组分的影响.X射线衍射结果显示，氧化后的GaN薄膜上形成了Ga2 03薄膜，当氧化温度处在850～950℃时，Ga2 0。薄膜呈现出单一的|9型结构，而当氧化温度高于1 000℃时，Ga2 03薄膜呈现出多晶结构，扫描电子显微镜测试显示，Ga2 03薄膜的表面由三角岛状结构组成，这些岛具有直线边界，岛的尺寸随着氧化温度的升高而逐渐增加．Ga2 03薄膜的厚度随着氧化温度的升商迅速增加，拟合结果显示，氧化层厚度和氧化温度之间为指数依赖关系，利用X射线能谱测试，研究了Ga2 03薄膜中元素组成情况
【关键词】
《科技创新与应用》 2015-10-30
《辽宁师范大学学报（自然科学版）》 2015-10-30
《辽宁师范大学学报（自然科学版）》 2015-10-30
《科技创新与应用》 2015-10-30
《科技创新与应用》 2015-11-02
《科技创新与应用》 2015-10-30
《科技创新与应用》 2015-11-02
《科技创新与应用》 2015-11-02
010-56259535
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